C23C 12/00 - Диффузия в твердом состоянии по крайней мере одного неметаллического элемента, иного, чем кремний, и по крайней мере одного металлического элемента или кремния в поверхность металлического материала [4]
12/02
.
диффузия в одну стадию [4]